- 利用超高分辨率X射線顯微鏡實現(xiàn)納米級結(jié)構(gòu)的無損可視化 -

Rigaku Holdings Corporation（總部：東京昭島；首席執(zhí)行官：Jun Kawakami；以下簡稱“Rigaku”）旗下集團公司Rigaku Corporation憑借一種用于檢測3D閃存缺陷的突破性無損檢測方法，榮獲Diana Nyyssonen紀(jì)念最佳論文獎（以下簡稱“該獎項”）。這項檢測與測量技術(shù)（以下簡稱“該技術(shù)”）運用了超高分辨率X射線顯微鏡。

該獎項旨在表彰在國際光學(xué)工程學(xué)會(SPIE)先進光刻與圖案化會議中，于測量、檢測和過程控制領(lǐng)域發(fā)表最具影響力論文的團隊。這些會議會發(fā)布應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻技術(shù)的最新研究成果。

在3D閃存生產(chǎn)過程中，一個難題是對嵌入式金屬結(jié)構(gòu)以及被稱為“存儲孔”的極深孔的形狀進行檢測和測量。

Rigaku團隊研發(fā)的這項技術(shù)利用X射線實現(xiàn)了超高分辨率，其檢測極限是最先進光學(xué)顯微鏡的十分之一甚至更低。除了能夠揭示納米級的極細(xì)微結(jié)構(gòu)，該技術(shù)還能對硅基片上形成的器件進行無損觀測。正是這種解決方案的突破性，說服了會議主辦方授予該獎項。

論文作者之一、X射線研究實驗室總經(jīng)理Kazuhiko Omote表示：“通過引入搭載這項技術(shù)的設(shè)備，3D閃存生產(chǎn)現(xiàn)場有望提高成品率并優(yōu)化生產(chǎn)流程。Rigaku計劃在大約兩年內(nèi)將這項技術(shù)投入實際應(yīng)用�！�

展望未來，Rigaku旨在利用這項技術(shù)追求更多創(chuàng)新成果，比如將其應(yīng)用于多層器件連接部分的電導(dǎo)率檢測和測量。

獎項公告詳情

論文標(biāo)題：利用超高分辨率X射線顯微鏡對3D閃存中的金屬結(jié)構(gòu)進行無損檢測

網(wǎng)址：https://rigaku-holdings.com/pdf/Proc. of SPIE Vol. 12955 129551B.pdf

關(guān)于Rigaku Group

自1951年成立以來，Rigaku集團的專業(yè)工程技術(shù)人員一直致力于利用尖端技術(shù)造福社會，尤其是在X射線和熱分析等核心領(lǐng)域。Rigaku的市場遍及90多個國家，在全球九個分支機構(gòu)擁有約2000名員工，是工業(yè)界和研究分析機構(gòu)的解決方案合作伙伴。我們的海外銷售比例已達(dá)到約70%，同時在日本保持著極高的市場份額。我們與客戶一起不斷發(fā)展壯大。隨著應(yīng)用領(lǐng)域從半導(dǎo)體、電子材料、電池、環(huán)境、資源、能源、生命科學(xué)擴展到其他高科技領(lǐng)域，Rigaku實現(xiàn)了“通過推動新視角來改善我們的世界”的創(chuàng)新。

左起：獲獎人X射線研究實驗室總經(jīng)理Kazuhiko Omote；以及X射線實驗室先進分析技術(shù)研究部成像組的Raita Hirose（照片：美國商業(yè)資訊）

左起：獲獎人X射線研究實驗室總經(jīng)理Kazuhiko Omote；以及X射線實驗室先進分析技術(shù)研究部成像組的Raita Hirose（照片：美國商業(yè)資訊）

獎狀（照片：美國商業(yè)資訊）

獎狀（照片：美國商業(yè)資訊）

使用該技術(shù)檢測和測量的硅片中200納米級孔圖案（圖示：美國商業(yè)資訊）

使用該技術(shù)檢測和測量的硅片中200納米級孔圖案（圖示：美國商業(yè)資訊）